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Quantitative hydrogen measurements in PECVD and HWCVD a-Si:H using FTIR spectroscopy

Goldie, D. M. / Persheyev, S. K.

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Titel:

Quantitative hydrogen measurements in PECVD and HWCVD a-Si:H using FTIR spectroscopy

Beteiligte:

Goldie, D. M. (Autor:in) / Persheyev, S. K. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 41 ; 5287-5291

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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