Structural and optical properties of amorphous hydrogenated silicon carbonitride films produced by PECVD: Fid-Bau Portal

Structural and optical properties of amorphous hydrogenated silicon carbonitride films produced by PECVD

Vassallo, E. / Cremona, A. / Ghezzi, F. / Dellera, F. / Laguardia, L. / Ambrosone, G. / Coscia, U.

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Titel:

Structural and optical properties of amorphous hydrogenated silicon carbonitride films produced by PECVD

Beteiligte:

Vassallo, E. (Autor:in) / Cremona, A. (Autor:in) / Ghezzi, F. (Autor:in) / Dellera, F. (Autor:in) / Laguardia, L. (Autor:in) / Ambrosone, G. (Autor:in) / Coscia, U. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 7993-8000

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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