Mechanical stresses in silicon carbonitride films obtained by PECVD from hexamethyldisilazane: Fid-Bau Portal

Mechanical stresses in silicon carbonitride films obtained by PECVD from hexamethyldisilazane

Shayapov, V. R. / Rumyantsev, Y. M. / Dzyuba, A. A. / Ayupov, B. M. / Fainer, N. I.

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Titel:

Mechanical stresses in silicon carbonitride films obtained by PECVD from hexamethyldisilazane

Beteiligte:

Shayapov, V. R. (Autor:in) / Rumyantsev, Y. M. (Autor:in) / Dzyuba, A. A. (Autor:in) / Ayupov, B. M. (Autor:in) / Fainer, N. I. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 265 ; 385-388

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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