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Properties of a-Si:H prepared by DBDCVD

Chen, M.-j. / Zhang, X.-w. / Guo, Y. / Wang, W.-w. / Han, G.-r.

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Titel:

Properties of a-Si:H prepared by DBDCVD

Beteiligte:

Chen, M.-j. (Autor:in) / Zhang, X.-w. (Autor:in) / Guo, Y. (Autor:in) / Wang, W.-w. (Autor:in) / Han, G.-r. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -HANGZHOU- ; 24 ; 555-557

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1004-793X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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