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Advances in modulation spectroscopy: State-of-art photoreflectance metrology

Murtagh, M. E. / Ward, S. / Nee, D. / Kelly, P. V.

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Titel:

Advances in modulation spectroscopy: State-of-art photoreflectance metrology

Beteiligte:

Murtagh, M. E. (Autor:in) / Ward, S. (Autor:in) / Nee, D. (Autor:in) / Kelly, P. V. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 145-151

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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