Fabrication and characterization of facing-target reactive sputtered polycrystalline TiO2 films: Fid-Bau Portal

Fabrication and characterization of facing-target reactive sputtered polycrystalline TiO2 films

Li, G. K. / Shen, J. J. / Mi, W. B. / Li, Z. Q. / Wu, P. / Jiang, E. Y. / Bai, H. L.

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Titel:

Fabrication and characterization of facing-target reactive sputtered polycrystalline TiO2 films

Beteiligte:

Li, G. K. (Autor:in) / Shen, J. J. (Autor:in) / Mi, W. B. (Autor:in) / Li, Z. Q. (Autor:in) / Wu, P. (Autor:in) / Jiang, E. Y. (Autor:in) / Bai, H. L. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 425-431

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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