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    Titel:

    Effects of experimental parameters on composition of boron carbon nitride thin films deposited by magnetron sputtering

    Beteiligte:

    Liu, L. (Autor:in) / Zhao, Y. (Autor:in) / Tao, Y. (Autor:in) / Yang, D. (Autor:in) / Ma, H. (Autor:in) / Li, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 439-443

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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