Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Microtrench of oxynitride thin films in a C2F6 inductively coupled plasma
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Kim, B. (Autor:in) / Lee, B. T. (Autor:in)
APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 1464-1468
01.01.2006
5 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
621.35
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