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Positive secondary Ion emission from Si1-xGex bombarded by O2+

Mikami, A. / Okazawa, T. / Saito, K. / Kido, Y.

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Titel:

Positive secondary Ion emission from Si1-xGex bombarded by O2+

Beteiligte:

Mikami, A. (Autor:in) / Okazawa, T. (Autor:in) / Saito, K. (Autor:in) / Kido, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 1620-1625

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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