Infrared Reflectance Study of 3C-SiC Grown on Si by Chemical Vapor Deposition: Fid-Bau Portal

Infrared Reflectance Study of 3C-SiC Grown on Si by Chemical Vapor Deposition

Feng, Z. C. / Huang, C. W. / Chang, W. Y. / Zhao, J. / Tin, C. C. / Lu, W. / Collins, W. E.

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Titel:

Infrared Reflectance Study of 3C-SiC Grown on Si by Chemical Vapor Deposition

Beteiligte:

Feng, Z. C. (Autor:in) / Huang, C. W. (Autor:in) / Chang, W. Y. (Autor:in) / Zhao, J. (Autor:in) / Tin, C. C. (Autor:in) / Lu, W. (Autor:in) / Collins, W. E. (Autor:in) / Devaty, R. P. / Larkin, D. J. / Saddow, S. E.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials - 2005 ; 695-698

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 527/529

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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