Effect of Al incorporation on the AlGaN growth by metalorganic chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

Effect of Al incorporation on the AlGaN growth by metalorganic chemical vapor deposition

Zhao, D. G. / Liu, Z. S. / Zhu, J. J. / Zhang, S. M. / Jiang, D. S. / Yang, H. / Liang, J. W. / Li, X. Y. / Gong, H. M.

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Titel:

Effect of Al incorporation on the AlGaN growth by metalorganic chemical vapor deposition

Beteiligte:

Zhao, D. G. (Autor:in) / Liu, Z. S. (Autor:in) / Zhu, J. J. (Autor:in) / Zhang, S. M. (Autor:in) / Jiang, D. S. (Autor:in) / Yang, H. (Autor:in) / Liang, J. W. (Autor:in) / Li, X. Y. (Autor:in) / Gong, H. M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 2452-2455

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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