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Atomic transport in germanium and the mechanism of arsenic diffusion

Bracht, H. / Brotzmann, S.

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Titel:

Atomic transport in germanium and the mechanism of arsenic diffusion

Beteiligte:

Bracht, H. (Autor:in) / Brotzmann, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 471-476

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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