Nanoscale materials patterning and engineering by atomic force microscopy nanolithography: Fid-Bau Portal

Nanoscale materials patterning and engineering by atomic force microscopy nanolithography

Xie, X. N. / Chung, H. J. / Sow, C. H. / Wee, A. T.

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Titel:

Nanoscale materials patterning and engineering by atomic force microscopy nanolithography

Beteiligte:

Xie, X. N. (Autor:in) / Chung, H. J. (Autor:in) / Sow, C. H. (Autor:in) / Wee, A. T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING R REPORTS -LAUSANNE- ; 54 ; 1-48

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

48 pages

ISSN:

0927-796X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 530

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