Patterning at the nanoscale: Atomic force microscopy and extreme ultraviolet interference lithography: Fid-Bau Portal

Patterning at the nanoscale: Atomic force microscopy and extreme ultraviolet interference lithography

Parisse, P. / Luciani, D. / D'Angelo, A. / Santucci, S. / Zuppella, P. / Tucceri, P. / Reale, A. / Ottaviano, L.

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Titel:

Patterning at the nanoscale: Atomic force microscopy and extreme ultraviolet interference lithography

Beteiligte:

Parisse, P. (Autor:in) / Luciani, D. (Autor:in) / D'Angelo, A. (Autor:in) / Santucci, S. (Autor:in) / Zuppella, P. (Autor:in) / Tucceri, P. (Autor:in) / Reale, A. (Autor:in) / Ottaviano, L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 165 ; 227-230

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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