Metal vapor vacuum-arc ion implantation effects on the adhesion and hardness of ion-beam deposited Cr/Cu films: Fid-Bau Portal

Metal vapor vacuum-arc ion implantation effects on the adhesion and hardness of ion-beam deposited Cr/Cu films

Yu, M. / Zhang, J. / Li, D. / Meng, Q. / Li, W.

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Titel:

Metal vapor vacuum-arc ion implantation effects on the adhesion and hardness of ion-beam deposited Cr/Cu films

Beteiligte:

Yu, M. (Autor:in) / Zhang, J. (Autor:in) / Li, D. (Autor:in) / Meng, Q. (Autor:in) / Li, W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 3276-3283

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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