Resonant capacitive MEMS acoustic emission transducers: Fid-Bau Portal

Resonant capacitive MEMS acoustic emission transducers

Ozevin, D. / Greve, D. W. / Oppenheim, I. J. / Pessiki, S. P.

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Titel:

Resonant capacitive MEMS acoustic emission transducers

Beteiligte:

Ozevin, D. (Autor:in) / Greve, D. W. (Autor:in) / Oppenheim, I. J. (Autor:in) / Pessiki, S. P. (Autor:in)

Erschienen in:

SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 15 ; 1863-1871

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0964-1726

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 530

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