Characterization of strength properties of thin polycrystalline silicon films for MEMS applications:: Fid-Bau Portal

Characterization of strength properties of thin polycrystalline silicon films for MEMS applications:

Boroch, R. / Wiaranowski, J. / Mueller-Fiedler, R. / Ebert, M. / Bagdahn, J.

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Titel:

Characterization of strength properties of thin polycrystalline silicon films for MEMS applications:

Beteiligte:

Boroch, R. (Autor:in) / Wiaranowski, J. (Autor:in) / Mueller-Fiedler, R. (Autor:in) / Ebert, M. (Autor:in) / Bagdahn, J. (Autor:in)

Erschienen in:

FATIGUE AND FRACTURE OF ENGINEERING MATERIALS AND STRUCTURES ; 30 ; 2-12

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

8756-758X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1123

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