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Experimental Investigations of Silicon Wafer Grinding

Liu, J. H. / Pei, Z. J. / Fisher, G. R.

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Titel:

Experimental Investigations of Silicon Wafer Grinding

Beteiligte:

Liu, J. H. (Autor:in) / Pei, Z. J. (Autor:in) / Fisher, G. R. (Autor:in) / Guo, D. / Kuriyagawa, T. / Wang, J. / Tamaki, J.

Erschienen in:

Advances in Abrasive Technology IX ; 361-366

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 329

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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