Band bending and band alignment at HfO2/HfSixOy/Si interfaces: Fid-Bau Portal

Band bending and band alignment at HfO2/HfSixOy/Si interfaces

Song, W. / Yoshitake, M. / Tan, R. / Kojima, I.

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Titel:

Band bending and band alignment at HfO2/HfSixOy/Si interfaces

Beteiligte:

Song, W. (Autor:in) / Yoshitake, M. (Autor:in) / Tan, R. (Autor:in) / Kojima, I. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 3508-3511

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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