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Analysis of the processes of silicon epitaxial lateral overgrowth in Ar ambient gas

Jozwik, I. / Olchowik, J. M.

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Titel:

Analysis of the processes of silicon epitaxial lateral overgrowth in Ar ambient gas

Beteiligte:

Jozwik, I. (Autor:in) / Olchowik, J. M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE -WROCLAW- ; 24 ; 967-974

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0137-1339

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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