Applications of Polishing Technology Using Polymer Particles to Silicon Wafers and Quartz Crystal Wafers: Fid-Bau Portal

Applications of Polishing Technology Using Polymer Particles to Silicon Wafers and Quartz Crystal Wafers

Lu, Y. S. / Tani, Y. / Soutome, K. / Kamimura, Y.

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Titel:

Applications of Polishing Technology Using Polymer Particles to Silicon Wafers and Quartz Crystal Wafers

Beteiligte:

Lu, Y. S. (Autor:in) / Tani, Y. (Autor:in) / Soutome, K. (Autor:in) / Kamimura, Y. (Autor:in) / Dong, S. / Yao, Y.

Erschienen in:

Progress of Precision Engineering and Nano Technology Selected Papers from Proceeding of the First International Conference on Precision Engineering and Micro/Nano Technology in Asia November 12-14, 2005, Shenzhen, China ; 263-268

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 339

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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