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    Titel:

    Study on oxidization of Ru and its application as electrode of PZT capacitor for FeRAM

    Beteiligte:

    Jia, Z. (Autor:in) / Ren, T. l. (Autor:in) / Liu, T. z. (Autor:in) / Hu, H. (Autor:in) / Zhang, Z. g. (Autor:in) / Xie, D. (Autor:in) / Liu, L. t. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 138 ; 219-223

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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