Improvement of Y2O3/Si interface for FeRAM application: Fid-Bau Portal

Improvement of Y2O3/Si interface for FeRAM application

Ito, D. / Yoshimura, T. / Fujimura, N. / Ito, T.

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Titel:

Improvement of Y2O3/Si interface for FeRAM application

Beteiligte:

Ito, D. (Autor:in) / Yoshimura, T. (Autor:in) / Fujimura, N. (Autor:in) / Ito, T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 159-160 ; 138-142

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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