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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Strain state in silicon structures for microprocessor technology

    Beteiligte:

    Hecker, M. (Autor:in) / Geisler, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE -WROCLAW- ; 25 ; 7-18

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    12 pages

    ISSN:

    0137-1339

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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