Synthesis and electrochemical characteristics of Ta-N thin films fabricated by cathodic arc deposition: Fid-Bau Portal

Synthesis and electrochemical characteristics of Ta-N thin films fabricated by cathodic arc deposition

Li, L. / Niu, E. / Lv, G. / Zhang, X. / Chen, H. / Fan, S. / Liu, C. / Yang, S. Z.

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Titel:

Synthesis and electrochemical characteristics of Ta-N thin films fabricated by cathodic arc deposition

Beteiligte:

Li, L. (Autor:in) / Niu, E. (Autor:in) / Lv, G. (Autor:in) / Zhang, X. (Autor:in) / Chen, H. (Autor:in) / Fan, S. (Autor:in) / Liu, C. (Autor:in) / Yang, S. Z. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 6811-6816

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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