Nano- and micro-scale patterning of Si (100) under keV ion irradiation: Fid-Bau Portal

Nano- and micro-scale patterning of Si (100) under keV ion irradiation

Katharria, Y. S. / Kumar, S. / Tarun Sharma, A. / Kanjilal, D.

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Titel:

Nano- and micro-scale patterning of Si (100) under keV ion irradiation

Beteiligte:

Katharria, Y. S. (Autor:in) / Kumar, S. (Autor:in) / Tarun Sharma, A. (Autor:in) / Kanjilal, D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 6824-6828

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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