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Raman spectroscopy of a-C:H:N films deposited using ECR-CVD with mixed gas

Liu, F. X. / Yao, K. L. / Liu, Z. L.

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Titel:

Raman spectroscopy of a-C:H:N films deposited using ECR-CVD with mixed gas

Beteiligte:

Liu, F. X. (Autor:in) / Yao, K. L. (Autor:in) / Liu, Z. L. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 6957-6962

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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