Nanomechanical studies of ultrathin polymeric resist films: Fid-Bau Portal

Nanomechanical studies of ultrathin polymeric resist films

Koszewski, A. / Gorski, T. / Reuther, F. / Rymuza, Z.

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Titel:

Nanomechanical studies of ultrathin polymeric resist films

Beteiligte:

Koszewski, A. (Autor:in) / Gorski, T. (Autor:in) / Reuther, F. (Autor:in) / Rymuza, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

INTERNATIONAL JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH ; 98 ; 393-396

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1862-5282

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669.9

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