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Nanomechanical studies of MEMS structures

Pustan, M. / Ekwinski, G. / Rymuza, Z.

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Titel:

Nanomechanical studies of MEMS structures

Beteiligte:

Pustan, M. (Autor:in) / Ekwinski, G. (Autor:in) / Rymuza, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

INTERNATIONAL JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH ; 98 ; 384-388

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1862-5282

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669.9

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