Excimer Laser Annealing of Hydrogen Modulation Doped a-Si Film: Fid-Bau Portal

Excimer Laser Annealing of Hydrogen Modulation Doped a-Si Film

Heya, A. / Matsuo, N. / Serikawa, T. / Kawamoto, N.

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Titel:

Excimer Laser Annealing of Hydrogen Modulation Doped a-Si Film

Beteiligte:

Heya, A. (Autor:in) / Matsuo, N. (Autor:in) / Serikawa, T. (Autor:in) / Kawamoto, N. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TRANSACTIONS ; 48 ; 975-979

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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