Excimer laser annealing of shallow As and B doped layers: Fid-Bau Portal

Excimer laser annealing of shallow As and B doped layers

Monakhov, E. V. / Svensson, B. G. / Linnarsson, M. K. / Magna, A. L. / Privitera, V. / Camalleri, M. / Fortunato, G. / Mariucci, L.

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Titel:

Excimer laser annealing of shallow As and B doped layers

Beteiligte:

Monakhov, E. V. (Autor:in) / Svensson, B. G. (Autor:in) / Linnarsson, M. K. (Autor:in) / Magna, A. L. (Autor:in) / Privitera, V. (Autor:in) / Camalleri, M. (Autor:in) / Fortunato, G. (Autor:in) / Mariucci, L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 352-357

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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