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Surface Polishing of 6H-SiC Substrates

Chen, X. / Xu, X. / Li, J. / Jiang, S. / Ning, L. / Wang, Y. / Ma, D. / Hu, X. / Jiang, M.

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Titel:

Surface Polishing of 6H-SiC Substrates

Beteiligte:

Chen, X. (Autor:in) / Xu, X. (Autor:in) / Li, J. (Autor:in) / Jiang, S. (Autor:in) / Ning, L. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in) / Ma, D. (Autor:in) / Hu, X. (Autor:in) / Jiang, M. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -SHENYANG- ; 23 ; 430-432

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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