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    Titel:

    Influence of Charging on SiO~2 Etching Profile Evolution Etched by Fluorocarbon Plasmas

    Beteiligte:

    Radjenovic, B. (Autor:in) / Radmilovic-Radjenovic, M. (Autor:in) / Petrovic, Z. L. (Autor:in) / Uskokovic, D. P. / Milonjic, S. K. / Rakovic, D. I.

    Erschienen in:

    Research Trends in Contemporary Materials Science ; 53-58

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 555

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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