CVD of 6H-SiC on Non-Basal Quasi Polar Faces: Fid-Bau Portal

CVD of 6H-SiC on Non-Basal Quasi Polar Faces

Shishkin, Y. / Rao, S. P. / Kordina, O. / Agafonov, I. / Maltsev, A. A. / Hassan, J. / Henry, A. / Moisson, C. / Saddow, S. E.

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Titel:

CVD of 6H-SiC on Non-Basal Quasi Polar Faces

Beteiligte:

Shishkin, Y. (Autor:in) / Rao, S. P. (Autor:in) / Kordina, O. (Autor:in) / Agafonov, I. (Autor:in) / Maltsev, A. A. (Autor:in) / Hassan, J. (Autor:in) / Henry, A. (Autor:in) / Moisson, C. (Autor:in) / Saddow, S. E. (Autor:in) / Wright, N.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2006 ; 73-76

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 556/557

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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