Reactive DC Magnetron Sputtering Deposition of Copper Nitride Thin Film: Fid-Bau Portal

Reactive DC Magnetron Sputtering Deposition of Copper Nitride Thin Film

Li, X. / Liu, Z. / Yao, K.

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Titel:

Reactive DC Magnetron Sputtering Deposition of Copper Nitride Thin Film

Beteiligte:

Li, X. (Autor:in) / Liu, Z. (Autor:in) / Yao, K. (Autor:in)

Erschienen in:

Special Issue on Thin Solid Films and Coatings ; 468-472

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -SHENYANG- ; 23

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1005-0302

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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