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Fabrication of Silicon Nanoarrays by Direct Nanosphere Lithography

Xu, L. / Li, W. / Zhao, W. M. / Sun, P. / Xu, J. / Ma, Z. Y. / Huang, X. F. / Chen, K. J.

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Titel:

Fabrication of Silicon Nanoarrays by Direct Nanosphere Lithography

Beteiligte:

Xu, L. (Autor:in) / Li, W. (Autor:in) / Zhao, W. M. (Autor:in) / Sun, P. (Autor:in) / Xu, J. (Autor:in) / Ma, Z. Y. (Autor:in) / Huang, X. F. (Autor:in) / Chen, K. J. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE REVIEW AND LETTERS ; 14 ; 709-712

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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