The Direct Patterning of Nanoporous Interlayer Dielectric Insulator Films by Nanoimprint Lithography: Fid-Bau Portal

The Direct Patterning of Nanoporous Interlayer Dielectric Insulator Films by Nanoimprint Lithography

Ro, H. W. / Jones, R. L. / Peng, H. / Hines, D. R. / Lee, H. J. / Lin, E. K. / Karim, A. / Yoon, D. Y. / Gidley, D. W. / Soles, C. L.

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Titel:

The Direct Patterning of Nanoporous Interlayer Dielectric Insulator Films by Nanoimprint Lithography

Beteiligte:

Ro, H. W. (Autor:in) / Jones, R. L. (Autor:in) / Peng, H. (Autor:in) / Hines, D. R. (Autor:in) / Lee, H. J. (Autor:in) / Lin, E. K. (Autor:in) / Karim, A. (Autor:in) / Yoon, D. Y. (Autor:in) / Gidley, D. W. (Autor:in) / Soles, C. L. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 19 ; 2919-2924

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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