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    Titel:

    Oxidation and removal mechanisms during chemical-mechanical planarization

    Beteiligte:

    Ng, D. (Autor:in) / Kulkarni, M. (Autor:in) / Johnson, J. (Autor:in) / Zinovev, A. (Autor:in) / Yang, D. (Autor:in) / Liang, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    WEAR -LAUSANNE- ; 263 ; 1477-1483

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0043-1648

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11292

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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