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Oxidation and removal mechanisms during chemical-mechanical planarization

Ng, D. / Kulkarni, M. / Johnson, J. / Zinovev, A. / Yang, D. / Liang, H.

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Titel:

Oxidation and removal mechanisms during chemical-mechanical planarization

Beteiligte:

Ng, D. ( Autor:in ) / Kulkarni, M. ( Autor:in ) / Johnson, J. ( Autor:in ) / Zinovev, A. ( Autor:in ) / Yang, D. ( Autor:in ) / Liang, H. ( Autor:in )

Erschienen in:

WEAR -LAUSANNE- ; 263 ; 1477-1483

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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