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    Titel:

    Effect of substrate temperature on the adhesion properties of magnetron sputtered nano-composite Si–C–N hard thin films

    Beteiligte:

    Mishra, S. K. (Autor:in) / Bhattacharyya, A. S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS LETTERS ; 62 ; 398-402

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0167-577X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1105 / 530

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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