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Dynamic mechanical properties of photo resist thin films

Chang, R.-C. / Chen, F.-Y. / Yang, P.-H.

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Titel:

Dynamic mechanical properties of photo resist thin films

Beteiligte:

Chang, R.-C. (Autor:in) / Chen, F.-Y. (Autor:in) / Yang, P.-H. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY ; 21 ; 1739-1744

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1738-494X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621

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