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    Titel:

    Dry etching of CuCrO2 thin films

    Beteiligte:

    Lim, W. T. (Autor:in) / Sadik, P. W. (Autor:in) / Norton, D. P. (Autor:in) / Pearton, S. J. (Autor:in) / Ren, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 2359-2363

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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