Fabrication of Piezoelectrically Driven Micropump with Sol-Gel PZT Films: Fid-Bau Portal

Fabrication of Piezoelectrically Driven Micropump with Sol-Gel PZT Films

Qiu, C.-j. / Qu, W. / Liu, H.-m. / Zhao, Q.-l. / Bu, D. / Cao, M.-s.

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Titel:

Fabrication of Piezoelectrically Driven Micropump with Sol-Gel PZT Films

Beteiligte:

Qiu, C.-j. (Autor:in) / Qu, W. (Autor:in) / Liu, H.-m. (Autor:in) / Zhao, Q.-l. (Autor:in) / Bu, D. (Autor:in) / Cao, M.-s. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -HANGZHOU- ; 25 ; 846-849

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1004-793X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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