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Anti-sticking treatment for a nanoimprint stamp

Sun, H. / Liu, J. / Gu, P. / Chen, D.

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Titel:

Anti-sticking treatment for a nanoimprint stamp

Beteiligte:

Sun, H. (Autor:in) / Liu, J. (Autor:in) / Gu, P. (Autor:in) / Chen, D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 2955-2959

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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