Prediction of surface and adhesion energies of nanoimprint lithography materials and anti-sticking layers by molecular dynamics simulation: Fid-Bau Portal

Prediction of surface and adhesion energies of nanoimprint lithography materials and anti-sticking layers by molecular dynamics simulation

Kang, J. H. / Kim, K. S. / Kim, K. W.

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Titel:

Prediction of surface and adhesion energies of nanoimprint lithography materials and anti-sticking layers by molecular dynamics simulation

Beteiligte:

Kang, J. H. (Autor:in) / Kim, K. S. (Autor:in) / Kim, K. W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 5438-5442

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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