Residual stress and microstructure of as-deposited and annealed, sputtered yttria-stabilized zirconia thin films: Fid-Bau Portal

Residual stress and microstructure of as-deposited and annealed, sputtered yttria-stabilized zirconia thin films

Quinn, D.J. / Wardle, B. / Spearing, S.M.

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Titel:

Residual stress and microstructure of as-deposited and annealed, sputtered yttria-stabilized zirconia thin films

Beteiligte:

Quinn, D.J. (Autor:in) / Wardle, B. (Autor:in) / Spearing, S.M. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 23 ; 609-618

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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