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    Titel:

    A Light-Induced Annealing of Silicon Implanted Layers

    Beteiligte:

    Lojek, B. (Autor:in) / Lerch, W. / Niess, J.

    Erschienen in:

    Rapid Thermal Processing and beyond: Applications in Semiconductor Processing ; 229-236

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 573/574

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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