Gadolinium oxide high-k gate dielectrics prepared by anodic oxidation: Fid-Bau Portal

Gadolinium oxide high-k gate dielectrics prepared by anodic oxidation

Kuei, P. Y. / Hu, C. C.

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Titel:

Gadolinium oxide high-k gate dielectrics prepared by anodic oxidation

Beteiligte:

Kuei, P. Y. (Autor:in) / Hu, C. C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 5487-5491

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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