Base doping and dopant profile control of SiGe npn and pnp HBTs: Fid-Bau Portal

Base doping and dopant profile control of SiGe npn and pnp HBTs

Tillack, B. / Heinemann, B. / Knoll, D. / Rucker, H. / Yamamoto, Y.

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Titel:

Base doping and dopant profile control of SiGe npn and pnp HBTs

Beteiligte:

Tillack, B. ( Autor:in ) / Heinemann, B. ( Autor:in ) / Knoll, D. ( Autor:in ) / Rucker, H. ( Autor:in ) / Yamamoto, Y. ( Autor:in )

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 6013-6016

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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