Leakage current study of Si1-xCx embedded source/drain junctions: Fid-Bau Portal

Leakage current study of Si1-xCx embedded source/drain junctions

Simoen, E. / Vissouvanadin, B. / Taleb, N. / Gonzalez, M. B. / Verheyen, P. / Loo, R. / Claeys, C. / Machkaoutsan, V. / Bauer, M. / Thomas, S.

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Simoen, E. / Vissouvanadin, B. / Taleb, N. / Gonzalez, M. B. / Verheyen, P. / Loo, R. / Claeys, C. / Machkaoutsan, V. / Bauer, M. / Thomas, S.

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Titel:

Leakage current study of Si1-xCx embedded source/drain junctions

Beteiligte:

Simoen, E. ( Autor:in ) / Vissouvanadin, B. ( Autor:in ) / Taleb, N. ( Autor:in ) / Gonzalez, M. B. ( Autor:in ) / Verheyen, P. ( Autor:in ) / Loo, R. ( Autor:in ) / Claeys, C. ( Autor:in ) / Machkaoutsan, V. ( Autor:in ) / Bauer, M. ( Autor:in ) / Thomas, S. ( Autor:in )

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 6140-6143

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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